греење mocvd реактор со индукција
Реактори за металорганско хемиско таложење на пареа (MOCVD) со индукциско греење е технологија насочена кон подобрување на ефикасноста на греењето и намалување на штетното магнетно спојување со влезот за гас. Конвенционалните MOCVD реактори со индукционо загревање често имаат индукциска намотка сместена надвор од комората, што може да резултира со помалку ефикасно загревање и потенцијални магнетни пречки со системот за испорака на гас. Неодамнешна… Прочитај повеќе